Sensoren auf Basis mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) sind aus unserem Alltag nicht mehr wegzudenken. Auch in der Ultraschallsensorik bieten sie zahlreiche Vorteile bzgl. Miniaturisierung, Funktionalität sowie Preiseffizienz und ermöglichen innovative Lösungen für ein breites Anwendungsspektrum.

Wegen der hohen Entwicklungskomplexität und Initialkosten dieser halbleiterbasierten mikromechanischen Ultraschallwandler (MUT) schrecken jedoch viele kleine und mittelständische Unternehmen davor zurück, eigene Lösungen zu entwickeln. Um diese Lücke zu schließen, präsentieren die Institute Fraunhofer ISIT, IPMS und ENAS eine wegweisende Initiative: einen One-Stop-Shop für die nächste Generation der Ultraschallsensorik.

Die Institute Fraunhofer ISIT, IPMS und ENAS sind seit vielen Jahren führend in der Entwicklung von mikromechanischen Ultraschall-Bauelementen und Systemen innerhalb der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD).

Die Plattform bietet nicht nur ein breites Technologieportfolio aus elektrostatischen und piezoelektrischen Lösungen, sondern verfügt auch über eine erstklassige Infrastruktur für Pilotfertigungen in eigenen Reinräumen. Die Institute arbeiten von der Konzeptentwicklung über die Fertigung, Charakterisierung und Verbindungstechnik bis hin zur Systemintegration eng zusammen, um maßgeschneiderte Entwicklungsdienstleistungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette anzubieten. Dabei bietet sich ein Spektrum von Anwendungen im Frequenzbereich von 20 kHz bis 20 MHz etwa in der Produktion, Medizintechnik und Mensch-Maschine-Interaktion.

Vom 11. – 13. Juni 2024 präsentieren die drei Fraunhofer-Institute ihre wegweisende Technologieplattform für mikromechanische Ultraschallwandler auf der SENSOR+TEST in Nürnberg am Gemeinschaftsstand 1-317 und in mehreren Vorträgen auf der 22. GMA/ITG Fachtagung.