Bei der Herstellung von Thermopile-Arrays pflegen wir seit über 10 Jahren eine enge Partnerschaft mit dem führenden Hersteller Heimann Sensor. Thermopile Arrays kommen gerade in Zeiten von Corona zur Detektion von abgestrahlter Körpertemperatur zum Einsatz. Dies dient, beispielsweise an Flughäfen, zur Früherkennung von infektiösen Flugreisenden.
In Kooperation werden dabei die Thermopile Arrays am IPMS iterativ weiterentwickelt und gefertigt. Die drei Partner, bestehend aus Heimann Sensor als Produktentwickler, XFAB als CMOS-Lieferant und dem IPMS als Technologiepartner für den Backendbereich, führt in einem aktuellen Projekt zu einer weiteren Verbesserung der Pixelgröße und in direkter Konsequenz bei gleichbleibender Arraygröße zu einer höheren Pixeldichte, was die Auflösung optimiert. Dabei ist das IPMS vorrangig für die Hartmaske, die Isolationsstrukturen und die Absorberstrukturen verantwortlich und übergibt diese Bauelemente zur finalen Prozessierung an Heimann Sensor zur Realisierung von Pixel-Arrays mit Auflösungen bis hin zu 120x84. Die Herstellung bestehender Bauteilgenerationen findet dabei kontinuierlich statt.