Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

FT-IR Scan-Engines

Fourier-Transform-Infrarot-Spektrometer

Wir entwickeln Scan-Engines, MEMS-Spiegel und Opto-Designs für FT-IR-Spektrometer (Fourier-Transform-Infrarot-Spektrometer). Diese sind vollständig an Ihre Bedürfnisse und Wünsche anpassbar. Die gelieferten Bauteile sind über Industriestandard-Schnittstellen direkt verwendbar.

Optische Messsysteme wie Fourier-Transform-Spektrometer oder konfokale Mikroskope erfordern eine schnelle Modulation der optischen Weglänge, um die Messzeiten zu verkürzen. Herkömmliche Lösungen mit aufwendiger Antriebsmechanik für die Ablenkspiegel weisen eine hohe Anfälligkeit gegenüber Vibrationen und Stößen auf. Sie sind daher nur für den Laborbetrieb geeignet.

Die translatorischen Spiegel des Fraunhofer IPMS zur optischen Weglängenmodulation überwinden diesen Nachteil. Neben der hohen Vibrations- und Schockunempfindlichkeit ermöglichen der Vorteil des Hochfrequenzbetriebs und die potenziell geringen Herstellungskosten für mittlere und hohe Stückzahlen die Entwicklung robuster, schneller und stark miniaturisierter Messsysteme für industrielle Anwendungen.

Vorteile unserer Technologie

MEMS-Spiegel mit einer mechanischen Ablenkung von 400 μm.
© Fraunhofer IPMS
MEMS-Spiegel mit einer mechanischen Ablenkung von 400 μm.
  • FT-IR-Demosystem („Evaluation Kits“ für Kunden)
  • Interferenz-Scan-Engines für FT-IR
  • Scan-Engines für FT-IR
  • Bereitstellung von MEMS-Spiegelmodulen bis zu 25.000 Stück oder als Bare Die in größeren Mengen
  • Optikdesign, Elektronikentwicklung, Konstruktion
  • Unterstützung bei Optikdesign, optomechanischem Design, Prozesstransfer bis hin zu kompletten Entwicklungsdienstleistungen (Customizing)

Sprechen Sie uns einfach an!

Vorteile unserer Technologie

Vorteil im Vergleich zu Gitterspektrometern:

  • Besseres SNR (Signal-zu-Rausch-Verhältnis), höherer Lichtdurchsatz
  • Höhere Wellenlängenstabilität
  • Einsatz im mittleren Infrarot (MIR) möglich
  • Kein begrenzter Wellenlängenbereich innerhalb einer Beugungsordnung

Vorteil gegenüber anderen FT-IR-Spektrometern

  • Höherer optischer Durchsatz (größere Apertur)
  • größere Amplitude
  • Besseres SNR (Signal-Rausch-Verhältnis) und höhere spektrale Auflösung
Set-up of Fourier transform spectrometer.
Set-up of Fourier transform spectrometer.

Mögliche Spezifikationen unserer FT-IR Scan-Engines

NIR (nahes Infrarot):

  • Wellenlängenbereich: 640 - 2500 nm
  • Abtastgeschwindigkeit 250...300 Hz
  • Spektrale Auflösung Δv = 8 cm-1 (800 nm - 2,5 µm)
  • Formfaktor VWLP (Vacuum Wafer Level MEMS Package) 12,6 x 12,6 x3 mm²

MIR (mittleres Infrarot)

  • Spektralbereich: 2 µm - 14 µm (16 µm)
  • 5 mm Apertur 
  • ±500 µm Amplitude (im Vakuum) 
  • Abtastfrequenz 300...500 Hz
  • Spektrale Auflösung z.B. Δv = 12 cm-1 (4,5 nm @ 2 µm) bis zu Δv = 4...8 cm-1

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