Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Besuchen Sie unsere Vorträge zu den zukunftsweisenden Schlüsseltechnologien der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik zum MikroSystemTechnik (MST) Kongress in Ludwigsburg vom 08.-10. November 2021. Auf dieser seit jeher größten nationalen Fachkonferenz haben Sie die Möglichkeit, mit unseren Experten den aktuellen Stand der Technik zu beleuchten. Profitieren Sie von einem intensiven Austausch und erfahren Sie, wie bedeutsam diese Technologien für die Wirtschaftskraft und unser Gemeinwohl sind und welche Zukunftschancen sie bieten. Besuchen Sie uns am Gemeinschaftsstand der FMD (Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland) – einem Verbund exzellenter Forschungseinrichtungen. Wir freuen uns auf Sie!
Veranstaltung
Programm des Fraunhofer IPMS
Dienstag, 9. November
Vorträge
| Thema | Uhrzeit | Titel | Sprecher | Raum |
|---|---|---|---|---|
| B1: Mobilität |
12:00 - 12:20 |
Solid-State LiDAR: MEMS Spiegel für die Umgebungssensorik zum sicheren autonomen Fahren |
Jan Grahmann, Ulrich Todt, Martin Blasl | Raum 2 |
Postersession (1)
Uhrzeit: 15:10 - 16:10
| Thema | Titel | Autoren |
|---|---|---|
| P1.B: Technologien: Materialien, AVT & Simulation | Two-Photon Lithography Parameter Study for Manufacturing of Acoustic Metamaterials on MEMS | Sandro G. Koch, Harald Schenk, Anton Melnikov, Severin Schweiger |
| Large deflection of electrostatically actuated microbeams - How do the bending modes contribute beyond pull-in? | Anton Melnikov, Jorge M Monsalve, Franziska Wall, Michael Stolz, Andreas Mrosk, Sergiu Langa and Bert Kaiser | |
| Beeinflussung des Schallfeldes durch Housing von Kapazitiven Mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUTs) | Sören Köble, Sandro G. Koch, Severin Schweiger | |
| P1.C: Technologien: Integrations- und Prozesstechnologien | Herstellung stromsparender ferroelektrischer Datenspeicher auf Basis von Hafniumoxid | Konrad Seidel, David Lehninger, Ricardo Olivo, Tarek Ali, Maximilian Lederer, Thomas Kämpfe, Konstantin Mertens, Kati Kühnel, Kati Biedermann |
| In-Memory Computing mit ferroelektischen Feldeffekttransistoren für EdgeAI Anwendungen | Nelli Laleni, Shaown Mojumder, Maximilian Lederer, Thomas Kämpfe |
Mittwoch, 10. November
Vorträge
| Thema | Uhrzeit | Titel | Sprecher | Raum |
|---|---|---|---|---|
| B4: Gesundheit & Pflege (1) | 11:35-11:55 | Sensorsystem zur Erkennung schwerer Verläufe von Infektionskrankheiten am Beispiel COVID-19 | Michael Scholles | Raum 2 |
| D4: Mikroaktoren & Energy Harvesters (1) | 11:15-11:35 | Entwicklung von miniaturisierten Annular-Arrays für fokussierten Ultraschall | Marcel Krenkel, Sandro G. Koch | Raum 4 |
| C6: Optische und Photonische Komponenten (2) | 15:55-16:15 | MEMS Spatial Light Modulators for Real Holographic 3D Displays | Peter Duerr, Andreas Neudert and Christoph Hohle | Raum 3 |
Postersession (2)
Uhrzeit: 14:35-15:35
| Thema | Titel | Autoren |
|---|---|---|
| P2.A: Anwendungen: Umwelt | Entwicklung von Testchips für materialeffiziente elektrochemische Analytik | Olaf Hild, Alexander Graf, Eberhard Kurth, Bodo Sauer, Robert Krause, Eshanee Gogoi |
| Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMS | Michael Stolz, Sergiu Langa, Bert Kaiser, Harald Schenk | |
| Bestimmung der optimalen Betriebsparameter für einen FAIMS-Chip für die Systemintegration in der Atemgas- und Urinanalytik | Alexander Graf, Olaf Hild | |
| P2.B: Anwendungen: Gesundheit & Pflege | Highly Modular Microsystem Inchworm Motor Based on a Nanoscopic Electrostatic Drive | Keyvan Narimani, Shashank Shashank, Sergiu Langa, Roberto Pineda Gomez, Christine Ruffert, Michael Scholles, Harald Schenk |
| P2.C: Anwendungen: Mobilität, Arbeit, Wirtschaft & Sicherheit | Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Applications in Nondestructive Testing | Uwe Voelz, Marco Kircher, Sandro G. Koch, Marcel Krenkel |
| Strahlcharakteristik eines elektrostatischen, membranlosen MEMS-Ultraschallwandlers für Umgebungserfassung | Jorge M Monsalve, Bert Kaiser, Anton Melnikov, Ioana Marica-Bercu, Marcel Jongmanns | |
| SmartNIR - Development of a highly miniaturised NIR-spectrometer for integration into mobile devices | Peter Reinig, Hans Georg Dallmann, Jens Kruse, Jens Knobbe |
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