Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Wir entwickeln, erforschen und fertigen innovative und intelligente Mikrosysteme (MEMS / MOEMS) . Dabei handelt es sich um mikromechanische optische Systeme, die Sensoren, Aktoren, digitale und analoge Schaltungskomponenten in sich vereinigen.
Die Kombination elektrischer und nichtelektrischer Eigenschaften in diesen Systemen ist eine Herausforderung für den Test und die Charakterisierung. Neben den klassischen elektrischen Testverfahren kommen nichtelektrische, vor allem optische Messund Stimulierungsverfahren zum Einsatz. Die Tests werden unter Reinraumbedingungen der Klasse 10 durchgeführt. In enger Abstimmung mit unseren Auftraggebern erfolgen Planung, Testprogrammentwicklung und Testdurchführung.
Die Einbindung von Spezialgeräten wie z. B. Laservibrometern, Spektrometern, Interferometern oder Farbmesskameras erlaubt die kombinierte elektrische und mechanisch / optische Charakterisierung dieser Mikrosysteme. Die elektrische Ansteuerung erfolgt dabei mit Mixed-Signal-Testsystemen, die eine komfortable Programmerstellung, eine große Flexibilität und hohe Testabdeckung ermöglichen.
Unsere Testlösungen entstehen meist projektgebunden im Rahmen der Erzeugnisentwicklung und gehen auf Kundenwunsch bis zur Serienreife.
Zur Unterstützung für KMUs bieten wir jedoch auch Testentwicklung und Test als separate Dienstleistung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen an.
