MEMS-Scanner Evaluation-Kits

Evaluation-Kits für quasistatische MEMS-Scanner und resonante MEMS-Scanner

Evaluation-Kit für Quasistatische MEMS-Scanner

Das Fraunhofer IPMS bietet verschiedene Evaluierungskits an, die es insbesondere kleinen und mittelständischen Unternehmen ermöglichen, MEMS-Scannergeräte des Fraunhofer IPMS gemäß den Spezifikationen zu betreiben, ohne eine eigene komplexe Ansteuerelektronik entwickeln zu müssen. Benötigt wird lediglich eine Stromversorgung sowie ein Computer, auf dem die mitgelieferte Steuersoftware läuft.

© Fraunhofer IPMS
Customer Evaluation Kit für quasi-statische MEMS Scanner.

Das Evaluation-Kit »QSDrive Scan Kit« gestattet es insbesondere kleinen und mittleren Unternehmen, ResoLin-Bauelementedes Fraunhofer IPMS ohne die aufwendige Eigenentwicklung einer Ansteuerelektronik spezifikationsgemäß zu betreiben. Das Evaluation-Kit besteht aus einem ResoLin-Bauelement – einem kardanischen MEMS-Scanner mit einer linearen Achse und einer optionalen, orthogonal orientierten resonanten Achse – sowie einer Ansteuerelektronik, die den Betrieb der Bauelemente mit einer mitgelieferten optimierten Trajektorie ermöglicht. Das Bauelement wird von einem ebenfalls im Lieferumfang enthaltenen Scankopf gehalten, der dank seiner speziellen Konstruktion leicht in gängige optische Versuchsaufbauten integriert werden kann. Je nach Ausführung des MEMS-Bauelements sind auch der geregelte Betrieb des Bauelements sowie ein synchronisierter Betrieb der resonanten Achse möglich. Die Funktionssteuerung erfolgt durch eine Software, die mit der Elektronik über USB kommuniziert.

Evaluation-Kit für Resonante MEMS-Scanner

© Fraunhofer IPMS
Vollständige Ansicht der MEMS Adapter- und Treiberkarten.

Das Evaluation-Kit »Simple MEMS Driver« gestattet es insbesondere kleinen und mittleren Unternehmen, resonante MEMS-Scanner des Fraunhofer IPMS ohne die aufwendige Eigenentwicklung einer Ansteuerelektronik spezifikationsgemäß zu betreiben. Das Evaluation-Kit besteht aus einem 1D- oder 2D-resonanten Bauelement – einem kardanischen MEMS-Scanner mit einer oder optional mit 2 orthogonal orientierten resonanten Achsen – sowie der Simple-MEMS-Ansteuerelektronik, die den Betrieb beider Achsen mit der jeweiligen Resonanzfrequenz ermöglicht. Das Bauelement wird von einem ebenfalls im Lieferumfang enthaltenen Scankopf gehalten, der dank seiner speziellen Konstruktion leicht in gängige optische Versuchsaufbauten integriert werden kann. Je nach Ausführung des MEMS-Bauelements ist auch der synchronisierter Betrieb der resonanten Achsen möglich. Die Funktionssteuerung erfolgt durch eine Software, die mit der Elektronik über USB kommuniziert.

Anwendungsbereiche von MEMS-Mikroscannern

  • Bilderfassung z.B. für technische und medizinische Endoskope
  • Konfokale Mikroskopie / OCT
  • Fluoreszenz-Mikroskopie
  • Barcode-Lesung
  • Objektvermessung / Triangulation
  • 3D-Kameras, LIDAR
  • Objekterkennung / 1D- und 2D-Lichtvorhänge
  • Spektroskopie
  • Lasermarkierung und -bearbeitung von Materialien
  • Laser-Wellenlängenmodulation
  • Laserprojektion / Anzeige
  • Lineare Abtastung
  • Optische Schwingungskompensation, z.B. Handlaser
  • Kraniotom
  • Strahlpositionierung / Trajektorienverfolgung
  • Materialmarkierung / Materialbearbeitung