Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Wir bieten eine hochmoderne, voll integrierte und CMOS-kompatible ME(O)MS-on-CMOS-Linie.
Unser Reinraum ist mit seinem qualifizierten Team und den industrieorientierten Einrichtungen ideal für die Forschung und Entwicklung im Bereich MEMS und MOEMS-Bauelemente positioniert. Neben dem tiefgreifenden Verständnis für modernste MEMS-Fertigungsprozesse, gepaart mit moderner Fab-Technologie, sind wir der perfekte Partner für die Entwicklung von Technologien und Bauelementen.
Unser Reinraum auf einen Blick:
- Low volume & high mix
- Betrieb 24/5 in 3 Schichten
- 45 Ingenieure + 45 Operateure und Wartungstechniker
- ~1.000 Waferstarts pro Monat
- CMOS-Kompatibilität
- Klasse 10 (ISO 4) auf 1.500 m²
- Zertifizierung nach ISO 9001:2015
- MES für Planung, Rückverfolgbarkeit und Dokumentation
- i-line (400nm L&S) und DUV-Cluster (130nm L&S)
