Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Ultraschallwandler sind unter den Sensoren die Alleskönner, die sich für viele Detektionsaufgaben in technischen Anwendungen etabliert haben. Der Einsatz von Sensorsystemen für den Informationsaustausch im Nahdistanz- und Kontaktbereich wird dabei immer wichtiger. Beispielsweise in der Gestenerkennung oder in der Kollisionswarnung. Gerade das Anwendungsgebiet Gestenerkennung erfordert zunehmend miniaturisierte Sensoren mit einem geringen Energieumsatz um diese in mobile internetfähige Endgeräte zu integrieren.
Die neuartigen UItraschallwandler in MEMS-Technologie, die am Fraunhofer IPMS entwickelt wurden, können diese Lücke schließen. Die Technologie erlaubt es auf die in herkömmlichen Ultraschallwandlern eingesetzte Membran zu verzichten. Vielmehr kommen mikroskopisch kleine Biegebalken, die durch ein Signal in Schwingung versetzt werden und in der Chipebene schwingen zum Einsatz. Um einen Schall zu erzeugen sind diese Biegebalken in Schallkammern angeordnet und der Schall tritt über Ein- und Auslassschlitze aus den Schallkammern aus.