Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Zusammen mit der DIVE imaging systems GmbH arbeiten wir an einem gemeinsamen Projekt im Rahmen des GreenICT Space - dem Accelerator-Programm des Kompetenzzentrums "GreenICT@FMD".
Das übergeordnete Ziel dieser Projektidee ist es, die hyperspektrale Bildverarbeitungstechnologie als produktionsbegleitendes Screening-Tool für die Halbleiterproduktion zu etablieren. Damit soll die Halbleiterproduktionskette effizienter und damit umweltverträglicher gestaltet werden.
Auf Basis der gesammelten Informationen können beispielsweise bisher benötigte Systemkontrollwafer in erheblichem Umfang eingespart, Fehlproduktionen früher erkannt und in der Folge vermieden, neue (Wafer-)Designs effizienter erstellt und Produktionskapazitäten insgesamt optimiert und ressourceneffizienter ausgelastet werden.
Dadurch wird der Material-, Energie- und Verbrauchsmaterialverbrauch pro Wafer in der Halbleiterproduktion erheblich reduziert.