200 mm MEMS-Reinraum

Unsere MEMS-Experten am Fraunhofer IPMS unterstützen Sie dabei, Ihre Vision in eine greifbare und herstellbare Realität zu verwandeln. Nachfolgend finden Sie eine Schritt-für-Schritt-Anleitung, wie wir Ihr MEMS-Projekt bearbeiten, um optimale Ergebnisse zu erzielen.

Vertraulichkeit ist für uns eine der höchsten Prioritäten. Dank unserer ISO9001:2015-Zertifizierung können Sie sicher sein, dass wir ein professionelles Projektmanagement implementiert haben.

In der Anfangsphase entwickeln wir in enger Zusammenarbeit mit Ihnen ein umfassendes Konzept des Prozesses, das Ihre spezifischen Anforderungen aufnimmt und in einen funktionsfähigen Fertigungsprozess am Fraunhofer IPMS umsetzt.

Unser Expertenteam arbeitet mit Ihnen zusammen, um jedes Detail Ihrer Anforderungen und Ziele abzustimmen. So können wir ein Prozessdesign erstellen, das perfekt zu Ihren Vorstellungen passt.

Sollte Ihr Projekt keinen kompletten Prozess umfassen, definieren wir sorgfältig die Schnittstellen zu Materiallieferanten und/oder Dienstleistern, um eine nahtlose Integration und Zusammenarbeit zu gewährleisten. Dieser ganzheitliche Ansatz gewährleistet, dass alle Aspekte des Prozesses von Anfang an gut aufeinander abgestimmt sind.

Wenn Sie sensible Informationen austauschen möchten, unterzeichnen wir gerne ein NDA. 

Am Ende dieser Phase haben wir die technischen Details geklärt und können Ihnen einen Projektvorschlag und ein formelles Angebot unterbreiten.

Als nächstes gehen wir in die Proof-of-Concept-Phase über. Hier installieren wir die Prozessmodule in der Reinraumumgebung des Fraunhofer IPMS und führen Testläufe durch, um sie zu validieren.

In dieser Phase werden die erforderlichen Anlagen eingerichtet und sichergestellt, dass jedes Prozessmodul in einer kontrollierten Umgebung wie vorgesehen funktioniert. Jedes Prozessmodul wird strengen Tests unterzogen, um Qualität und Leistung sicherzustellen. Unsere Spezialisten überwachen jeden Aspekt der Testläufe und nehmen bei Bedarf Anpassungen vor, um den Prozess zu optimieren.

Am Ende dieser Phase wird der Gesamtprozess einer Proof-of-Concept-Bewertung unterzogen. Diese umfassende Bewertung stellt sicher, dass alle Komponenten harmonisch zusammenarbeiten und einen zusammenhängenden und effektiven Produktionsprozess bilden.

Auf Ihren Wunsch hin starten wir die dritte Phase, in der wir den Prozess stabilisieren und optimieren.

Diese Phase ist entscheidend für die Feinabstimmung des Herstellungsprozesses, um optimale Leistung und Stabilität zu erreichen. Durch detaillierte statistische Analysen ermitteln wir verbesserungswürdige Prozessbereiche und setzen die erforderlichen Änderungen um. Diese Optimierungen werden sorgfältig getestet, um sicherzustellen, dass sie den Prozess verbessern, ohne neue Variablen einzuführen. Diese Phase mündet in die Qualifizierung des Herstellungsprozesses, der in Zusammenarbeit mit Ihnen validiert wird.

Am Ende dieser Phase können Sie sicher sein, dass der Prozess robust und zuverlässig ist und für eine Pilotproduktion bereitsteht.

Abschließend bietet das Fraunhofer IPMS die Pilotfertigung der Prozessmodule und Prozesse in unseren hochmodernen Reinraumanlagen an. Diese Phase ermöglicht eine professionelle und kontrollierte Umgebung, um sicherzustellen, dass der Prozess für die Pilotfertigung bereit ist.

In der Pilotproduktion fertigen wir Ihre Bauelemente entsprechend den Spezifikationen in einem jährlichen Auftragsvolumen von 10 bis 5000 Wafern. Während der Pilotfertigung optimieren wir kontinuierlich den Fertigungsprozess. Sollten Sie höhere Stückzahlen benötigen, sind wir bereit, Ihren Prozess in eine Großserienfertigung zu überführen. Wir beraten Sie gerne mit der Foundry Ihrer Wahl und unterstützen den Prozesstransfer.

Am Ende dieser Phase steht die erfolgreiche Pilotfertigung Ihres Bauteils - entweder in unserem Reinraum oder in einer externen Foundry.