Projekt: Infrastruktur 2021/2022

Finanzierung: Dieses Projekt wird finanziell unterstützt durch das Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur (MWFK) des Landes Brandenburg.

Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation (InfraFEI)

Projektdauer: 26.08.2021-30.09.2022 (Verlängerung bis 31.12.2022)

Ziel der Förderung:

Dieses Projekt unterstützt durch den weiteren Ausbau der Infrastruktur des Fraunhofer IPMS den Institutsteil „Integrierte Siliziumsysteme“ IPMS-ISS in Cottbus.

Langfristig soll sich der Standort Cottbus als Entwicklungskern der Region für miniaturisierte sensorische und aktorische Anwendungen etablieren und dort neben den reinen sensorischen Komponenten auch Systemelemente zur elektronischen Steuerung, Datenübertragung und insbesondere zur dezentralen Entscheidungsfindung integriert werden. Als Basis dienen siliziumbasierte Mikro- und Nanosysteme, die erforscht und entwickelt werden. Einige der beantragten Investitionen werden für die damit im Zusammenhang stehenden Projekte benötigt.

Die Förderung ermöglicht die Beschaffung folgender Geräte:

• Probenmanipulationssystem (Ion Milling System) zur Herstellung von Querschnitten der Mikrochips vor der optischen Inspektion
• PicoScale-Vibrometer zur mechanischen Charakterisierung der mikro-elektromechanischen Systeme (MEMS)
• Critical Point-Dryer für die Probenaufbereitung vor dem 2-Photonenbasierten 3D-Druck