Integrierte photonische Bauelemente

Photonische Biosensoren

© Fraunhofer IPMS
Funktionsprinzip eines Biosensors auf Basis eines Mikroringresonators.
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Bild eines Silizium-Wafers mit prozessierten Mikroringresonator-Biosensoren.

Photonische Biosensoren sind sehr gut geeignet, um schnelle und genaue molekulare Analysen in Point-of-Care-Anwendungen zur Früherkennung von Krankheiten, als Alternative zur Standardmethode des Nachweises von Mikroorganismen durch Blutkulturen, zur Lebensmittelanalyse oder zur Umweltüberwachung durchzuführen.

Wir entwickeln photonische Biosensoren mit Siliziumnitrid-Mikroringresonatoren als Wandlerelemente. Im Detail funktioniert der auf einem Mikroringresonator basierende Biosensor wie folgt: Ziel-Bioproteine, die an die Oberfläche der funktionalisierten Mikroringstruktur binden, bewirken eine Änderung des effektiven Brechungsindex der in die Struktur einfallenden Mode und damit eine Verschiebung der Resonanzwellenlänge, die bei der Überwachung des Spektrums am Ausgangstor detektiert wird. Je schmaler die Resonanzspitzen des Transmissionsspektrums sind, desto höher ist die Empfindlichkeit des Resonators.

Eine geeignete Funktionalisierung der Mikroring-Oberfläche ermöglicht darüber hinaus die Detektion einer Bindung zwischen einem spezifischen bioaktiven Rezeptor (Antikörper, DNA) und dem Analyten (z. B. Biomarker-Protein), die an der modifizierten Oberfläche stattfindet. Mit Hilfe von Mikro-Ringresonator-basierten Biosensoren könnten Biomarkerproteine bis zu sehr niedrigen Konzentrationen von etwa 10 pg/ml nachgewiesen werden. Wir entwickeln eine hochempfindliche, kostengünstige, zuverlässige und skalierbare On-Chip-Biosensor-Plattform mit Multiplex-Architektur und optimierter Lichteinkopplung auf den Chip.

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Beispiel eines Arrayed Waveguide Grating (AWG) auf Basis von Siliziumnitrid-Wellenleitern.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt Bauelemente und photonische integrierte Schaltungen auf Basis von Siliziumnitrid-Wellenleitern. Durch den Einsatz maßgeschneiderter Technologien bietet das Fraunhofer IPMS die Möglichkeit, Wellenleiter monolithisch mit CMOS-Bauelementen zu integrieren und verlustarm zu gestalten.

Einzigartige Chancen ergeben sich aus der Möglichkeit, Siliziumnitrid-Wellenleiter mit Flüssigkristall-Wellenleitern zu kombinieren, wobei eine spezifische Elektrodenkonfiguration zu neuen programmierbaren Bauelementen für unterschiedliche Anwendungen führen kann.

Das Fraunhofer IPMS verfügt über Expertise im Design, der Herstellung und Charakterisierung von Wellenleiterbauelementen und photonischen integrierten Schaltungen, die z. B. als Wellenlängenfilter, Schalter, Multiplexer etc. in optischen Kommunikationsnetzwerken, in der Spektroskopie und als Wandlerelemente in der optischen Sensorik und Biosensorik eingesetzt werden.

Die Wellenleiter werden auf 200 mm-Wafern im Reinraum des IPMS hergestellt. Ihre Charakterisierung wird in speziellen Laboraufbauten am Fraunhofer IPMS und Fraunhofer MEOS durchgeführt.

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