Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Unsere Reinräume am Fraunhofer IPMS
200 mm MEMS/MOEMS
- 1500 m² großer Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1)
- Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm
- Mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) und mikro-opto-elektro-mechanische Systemen (MOEMS)
200 mm Mikrodisplay-Reinraum
- 300 m² Reinraum Klasse 5 (nach ISO 14644-1)
- Pilotlinie für Mikrodisplays und Sensoren
- Dünnschichtverkapselung, Strukturierung und Schichtcharakterisierung
300 mm CMOS
- 2700 m² großen Reinraum der Klasse 6 und 3 (nach ISO 14644-1)
- Entwicklungsdienstleistungen auf 300mm-Wafern im Bereich FEoL und BEoL für die Mikroelektronik
- Services auf Ultra Large Scale Integration-Level
- Analytik, Metrologie & Charakterisierung