Projekt: Infrastruktur 2020/2021

Finanzierung: Dieses Projekt wird finanziell unterstützt durch den Fond für regionale Entwicklung der Europäischen Union (EFRE).

Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation (InfraFEI)

Ziel der Förderung:

Dieses Projekt unterstützt durch den weiteren Ausbau der Infrastruktur des Fraunhofer IPMS den Institutsteil „Integrierte Siliziumsysteme“ IPMS-ISS in Cottbus.

Mithilfe der Förderung konnten die Fähigkeiten der am Standort bereits existierenden Arbeitsgruppe signifikant erweitert werden. Beschafft wurden messtechnische Geräte und Einrichtungen zur elektrischen und visuellen Charakterisierung bzw. Kontrolle von Halbleiterbauelementen und monolithisch integrierten Aktor- und Sensorsystemen. Die Beschaffung von Geräten und Einrichtungen zur Verwendung in Prozessen der Aufbau- und Verbindungstechnik und Herstellung einer Reinraum-Umgebung unterstützt die Gruppe bei der Realisierung von Systemen basierend auf den genannten Bauelementen.

Die Förderung ermöglichte die Beschaffung folgender Geräte (Auswahl):

• Raster-Elektronen-Mikroskop
• Halbautomatischer Waferprober
• Impedanzspektroskopie mit DC-Bias-Möglichkeit
• Halbautomatischer Drahtbonder
• Begehbare Reinraumzelte sowie stickstoff-gespülte Lagereinrichtungen