MEMS-Scanner und Scan-Engines

Scannerspiegel, entweder resonant oder quasi-statisch betrieben, sind die Technologie der Wahl, wenn es darum geht, Licht mit sehr kompakten Systemen gezielt abzulenken. Beim Fraunhofer IPMS finden Sie gleichermaßen technologische Kompetenz für die Bauteil- und Systementwicklung und Anwendungs-Know-how aus über 10 Jahren Entwicklungsarbeit.

In den vergangenen Jahren hat das Fraunhofer IPMS mehr als 50 verschiedene resonante MEMS-Scanner entwickelt, die als ein- oder zweidimensional ablenkende Elemente oder auch zur optischen Weglängenmodulation eingesetzt werden. Mögliche Scan-Frequenzen reichen von ca. 0,1 kHz bis zu 100 kHz.

Unser Angebot auf einen Blick:

• Kippbare und translatorische Spiegel
• 1D- und 2D-Auslenkung (resonant, quasi-statisch)
• Großer optischer Abtastbereich: 136°
• Frequenzen: 0,1 Hz - 100 kHz
• Spiegeldurchmesser: 0,5 - 5 mm (9,0 mm)
• Planarität: > λ/10
• Hochreflektierende Beschichtungen möglich
• Integrierte piezoresistive Positionssensoren

Sie können von unseren Spiegeln ein hervorragendes Langzeitverhalten, hohe Temperatur-, Vibrations- und Stoßfestigkeit erwarten. 

Gerne entwickeln wir kundenspezifische Scanlösungen für Ihre Anwendung und liefern qualifizierte MEMS-Scanner-Dies und Scan-Engines in größeren Stückzahlen mittels Pilotfertigung.

Unser umfangreiches Packaging- und Montage-Know-how und die qualifizierte Pilotfertigung machen uns zu einem perfekten Partner für Ihr Projekt.

Die Anwendungsbreite erstreckt sich von Strichcode-Lesesystemen über die 3D-Messtechnik bis hin zur Laserprojektion, Spektroskopie und Fokuslagenmodulation. Ein praktisches Beispiel ist ein Scannerspiegel mit Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen. Dieser wird seit 2007 kommerziell von der HiperScan GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer IPMS, in einem neuartigen Nahinfrarot-Mikrospektrometer angeboten. Darüber hinaus beschäftigt sich das Fraunhofer IPMS mit anwendungsspezifischen Scannerspiegeln z. B. für Fourier-Transform-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, ultrakompakte Laserprojektionssysteme, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).

Neben den resonanten Scannern werden auch quasistatisch auslenkbare Mikroscanner für Anwendungen wie das Laserstrahlpositionieren oder vektorielles Scannen entwickelt.

Interessenten haben die Möglichkeit, Kunden-Evaluierungs-Kits (CEK) zu erhalten, basierend auf vorrätigen Spiegeln inklusive Verpackung, Treiberelektronik und Software. Je nach beabsichtigter Kundenevaluation ist es möglich, das CEK an spezifische Anforderungen anzupassen. Gerne entwickeln wir auch kundenspezifische Scanlösungen für Ihre Anwendung und stellen MEMS-Scanner-Chips oder Scan-Module qualifiziert und in Stückzahlen über eine Pilotfertigung zur Verfügung.