Das gemeinsam durch EU Kommission, den beteiligten Mitgliedsstaaten und dem Freistaat Sachsen im Rahmen der Joint Undertaking ECSEL (Electronic Components and Systems for European Leadership) geförderte Projekt ADMONT will eine weitergehende Diversifizierung von CMOS-Prozesstechnologien erreichen, wie sie für innovative Bauelemente und Systeme in einer ganzen Reihe von Applikationsfeldern unverzichtbar ist. Der Nachweis der Fertigbarkeit soll mit Hilfe einer in ADMONT zu realisierenden More-than-Moore (MtM) Pilotlinie erfolgen.

Durch die Kombination von vorhandener Expertise, technologischen Fähigkeiten und Herstellungskapazitäten der Partner aus Industrie und von Forschungseinrichtungen wird ein komplett neues Eco-System innerhalb des größten europäischen Silizium-Technologieclusters „Silicon Saxony“ geschaffen. Die räumlich verteilte, aber dennoch zu einer  durchgängigen MtM-Plattform integrierte Pilotlinie vereint grundlegende CMOS-Prozesse des Partners X-FAB mit Technologien für Sensoren und MEMS-Bauelemente des Fraunhofer IPMS, OLED-on-CMOS-Integration des Fraunhofer FEP-COMEDD und Möglichkeiten am Fraunhofer IZM-ASSID zur 2,5D- und 3D-Integration zu einem einzigartigen durchgängigen Prozessfluss. Die einzelnen Technologiemodule sind nicht in einem Reinraum lokalisiert, sondern über die Partner am Standort Dresden verteilt.

„Diese lokale Konzentration von Mikro- und Nanotechnologie hat für potentielle Kunden entscheidende Vorteile, da sie kurze Produktionszyklen und geringe Lieferzeiten garantiert. Eine solche verteilte MtM-Pilotlinie ist sowohl in Europa wie auch weltweit einzigartig und wird durch weitere Maßnahmen im Projekt als ‚one-stop-shop‘ für Partner und Kunden implementiert.“ sagt Dr. Karl-Heinz Stegemann (X-FAB), Koordinator des ADMONT-Projekts.

Der Aufbau der Pilotlinie im Projekt wird zum einen durch die Entwicklung fortschrittlicher Entwurfsmethoden unterstützt, um den Herausforderungen der Modellierung und Simulation von Aspekten wie Zuverlässigkeit, Prozessschwankungen und Verschleiß zu begegnen. Zum anderen sorgen geplante IT-Projektarbeiten zu Smart Fabrication, Fab-Automation und Datenverwaltung für die vorgesehene Durchgängigkeit der Linie. Sie wird als eine offene Plattform betrieben und erlaubt so die nachträgliche Integration anderer Technologiemodule für zukünftige Produkte auf dem Gebiet der Smart Systems.

ADMONT (Project ID: 661796 – ECSEL-2014-2) ist eine zur einen Hälfte von der Europäischen Kommission und zur anderen Hälfte von den beteiligten Mitgliedsstaaten finanziell unterstützte Innovation Action von ECSEL. Die nationale Förderung für sächsische Projektpartner tragen Bund und Freistaat Sachsen wiederum jeweils zur Hälfte. Partner sind X-FAB Dresden GmbH & Co. KG,  Heimann Sensor GmbH (Dresden), Okmetic OYJ (Finnland), SYSTEMA Systementwicklung GmbH (Dresden), Roth & Rau - Ortner GmbH (Dresden), SMARTRAC Technology Dresden GmbH, SENSEAIR AB (Schweden), Silicon Biosystems SPA (Italien), MAZET GmbH (Jena), EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Technikon Forschungs- und Planungsgesellschaft mbH (Österreich), Fraunhofer-Gesellschaft mit den fünf Instituten IPMS, IZM-ASSID, FEP-COMEDD, IIS-EAS (alle Dresden) und EMFT (München), IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme GmbH (Ilmenau) und KPS (Ungarn). Die Laufzeit des Projekts ist vom 1.5.2015 bis 30.4.2019.